【真空等离子处理设备】表面等离子体 -基本原理：
表面等离子体场分布特性表面等离子体（Surface Plasmons，SPs）是指在金属表面存在的自由振动的电子与光子相互作用产生的沿着金属表面传播的电子疏密波。
其产生的物理原︾理如下：如作图所示，在两种半无限大、各项同性介质构成的界面，介质的介电常数是正的实数，金属的介电常数是实部为负的复数。根据maxwell方程，结合边界条件和材料的特性，可以计∴算得出表面等离子体的场分布和色散特性。
【等离子清洗机】一般来说，表面等离子体波的场分布具有以下特性：
1.其场分布在沿着界面方向是高度局域的，是一个消逝波，且在金属中场分布比在介质中分布更集中，一般分布深度与波长量级相同。
2.在平行于表面的方向，场是可以传播的，但是由于金属的损耗存在，所以在传播的过程中会有衰减存在，传播距离有限。
3.表面等离激元的色散曲线在自然光的右侧，在相同频率的情况下♂，其波矢量比光波矢量要大。【等离子喷枪】
