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故障现象：真空等离子清洗机出现ζ报警提示

1. 故障原因：真空度№过高或过低、气体流量过大或过小、设备内部温度过高。

2. 解决方案：调整真空度至适当范围；调整气体流量至适当值；检查设备散热系统，确保散热良好。

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