在用等离子清洗机清洗后，被清洗的物体已经非常干燥，可以不干燥地送到下一个工序。等离子清洗机不使△用三氯乙烯ODS作为有害溶剂，清洗后不会产生有害污染物，是一种有∩利于环境保护的绿色清洗方法。等离子清洗机可以穿透物体的微小孔和凹陷，完成清洗任务，而不需要过多考虑待清洗物体形状的影响。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有效率高的特点。
等离子清洗机的清洗特点是可以处理不同的基片，而不管处理对象是什么。无论是金属、半导体、氧化物还是聚合物材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂和其他聚合物)，都可以通过等离子体进行良好的处理。因此，它特别适用于不耐热和耐溶剂的基材。还可以选择性地对材料的整体、局部或复杂结构进行局部清洗。等离子清洗机可以在清洗和去污的同时改变材料本身的表面性质。例如改善表面的润湿性和膜的粘附性。
等离子清洗机具有高精度的控制装置，时间控制精度非常高。正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，保证了表面质量。由于是在真空→中进行的，因此不会污染环境，并确保清洁后的表面※不会被二次污染所污染。由于等离子体中存在电子、离子和自由基等活性粒子，所以很容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。
等离子清洗机包括反应室、电源和真空泵组。将样品放入反应室内，真空卐泵开始抽至一定真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内引入↑气体，使室内的等离子体成为反应等离子体，等离子体与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。利用等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，实现对材料表面的活化、刻蚀、去污等工艺处理，达到改善材料摩擦系数、附着力、亲水性等各种表面性能的目的。
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