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PCB用垂直等离子处理机 PM16H

PM16H

特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容ζ性，完善的功能和专业的技术支持。

用途：适用于印制线ω　路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体▂领域，汽车电子行业，航空工★业等。

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编号	内容	规格参数
1	机台整机规格№	1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）
2	真空︾室规格	进口合金铝1140(W)×1550（D)×1130(H) mm
3	电极板规格	16层垂直式式电极板（850mm×550mm）
4	控制系统	PC工控系统+PLC自动控制
5	真空测定系统╱	皮∞拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	精确质量流△量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路◣工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗。 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。