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在线式真空々等离子设备-PR-OL05

特点：
1、进料流水线运◣动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2、真空腔内〇置4条轨道，可一次处理4片物料， UPH可达240载板/小时；
3、所有运动机构◢均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得★以有效控制。

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技术参数相关产品

编号	内容	规格参数
1	整机规格	160015002150mm（包含FFU及报警指示灯⊙等）
2	单次处〓理数量	4片载板
3	腔体轨道长度	300mm
4	腔体轨←道宽度兼容范围	100-155mm
5	腔体内〖尺寸	92032065mm
6	设备产能	240载板/小时
7	扫码	进出扫码载具二维码╱↑
8	净化防护	百级FFU净化⊙过滤系统
特点： 1、进料流水线运动模组采用伺服□　电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污； 2、真空腔内置4条轨道，可一次处理4片物料， UPH可达240载板/小时； 3、所有运动机构均采▃用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。用途：IC封装中引线ξ框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗在线♀式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常☆规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动ω化水平。