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在线式真空等离子设备 PR-IL05-D

特点：
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2、真空腔内置2条轨道，可◤一次处理2片物料， UPH可达120载板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。

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技术参数相关产品

编号	内容	规格参数
1	整机规格	140014002150mm（包含FFU及卐报警指示灯等）
2	单■次处理数量	2片载板
3	腔体轨道Ψ 长度	260mm
4	腔体轨道宽度兼容范围	70-110mm
5	腔体内尺寸	39528065mm
6	设备产能	120载板/小时
7	CT	60秒
8	LOAD&UNLOAD	不具备
9	扫码	进出扫码载具二维码
10	净化防护	百级FFU净化过滤系统
特点： 1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污； 2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达120载板/小时； 3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。用途：IC封◥装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平▓。