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在线式真空等离子设备 PR-OL05-LR

特点：
1、进料流水线运动模组采用伺服◆电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证↘精度，降低尘污；
2、真空腔内置3条轨道，可一次处╳理3片物料， UPH可达180载板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得╲以有效控制。

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技术参数相关产品

编号	内容	规格参数
1	整机规格	150020002150mm（包含FFU及报警※指示灯等）
2	单次处理数∞量	3片载板
3	腔体轨道长度	380mm
4	腔体轨道宽度兼容ζ　范围【	100-248mm
5	腔体内尺寸」	97440065mm
6	设备产能	180载板/小时
7	CT	60秒
8	LOAD&UNLOAD	不具备
9	扫码	进出扫码『载具二维码◤
10	净化防护	百级FFU净化①过滤系统
特点： 1、进料流水线运动模◥组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污； 2、真空腔内置3条轨道，可一Ψ 次处理3片物料， UPH可达180载板/小时； 3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳▃定性及故障率得以有效控制。用途：IC封装∑　中引线框架上点胶装片、芯片键合及→塑封等工艺前清洗在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计ζ要求,与常规等离子清洗系〖统相比,降低了人工搬运过↙成,提高了设备自动♀化水平。