编号 | 内容 | 规格参数 |
---|---|---|
1 | 机台整机规格 | 2000(W)×1500(D)×1960(H) mm |
2 | 真空室规格 | 1030(W)×1100(D)×1070(H) mm |
3 | 电极板规∩格 | 17层平板式▲电极板(944W×790 D mm (28W ×24D in)) |
4 | 控制系统 | PC工控系统+PLC自动控制 |
5 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻◥式真空计 |
6 | 气体∑计量系统 | 精确质量流量控制计 MFC |
7 | 气体路数 | 2—5路工作◢气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等离子发生∮器 | 10KW等离子体发生源(40KHz,可选13.56MHz) |
9 | 工作气体 | 2路≡工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2 |
特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持∩。 用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域↘∏,汽车电「子行业,航空工业等。 1、印制线∑路板行业:高频△板表面活化,多层板㊣ 表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清●洁、去钻污,软板补强前活化。 2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗; 3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合◥体的表面粗化、刻蚀、活化。 |
微信□扫码咨询
微信扫码咨询