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在线式真空↘等离子设备-PR-IL05-S

PR-IL05-S

特点：
1、进料流水线运动模组∏采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精ξ度，降低尘污；
2、真空腔『内置2条轨道，可一次处ξ　理2片物料， UPH可达90拼板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。

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技术参数相关产品

编号	内容	规格参数
1	整机规格	L1300mmW1300mmH2200﹢50/﹣30mm（包含FFU及报警指示灯等）
2	进出料方式	流水线全自动进出料
3	放电结构	真空容式◇辉光放电
4	处理温度	≤50℃
5	单次处理载板数	2片
6	载板最大尺寸▽	（170-270）（65-85）（1-5）mm
7	设备产能	理论值≥90载板/小时（依据plasma处理时间15秒计算）
8	净化防护	百级FFU净化过滤系统↘
特点： 1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污； 2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达90拼板/小时； 3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。用途：IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑≡封等工艺前清洗在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平⌒　。