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PM216L真空等离子处理机

PM216L

特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

用途：适用︼于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

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技术参数相关产品

编号	内容	规格参数
1	机台整⊙机规格	1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)
2	真空室规▅格	进口铝 600(W)×600(H)×600(D)mm
3	电极板规格	10层平板式∞电极板（560(W)×500(D)mm）可定制
4	控制系统	触摸屏+PLC控制
5	真空测定系☆统	皮拉尼电→阻式真空计
6	气体计♀量系统	精确质量流量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路工Ψ作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可∮选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、印制线路板行业：高频板表面活化№，多层板表〗面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前△的清洗； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。